真空科学与技术学报杂志社地址：北京市海淀区中关村南三街8号A楼2段306室。
杂志社邮编：100190。
真空科学与技术学报杂志于1981年创刊， 国际刊号：1672-7126， 国内刊号：11-5177/TB， 现如今被北大期刊(中国人文社会科学期刊)、CSCD 中国科学引文数据库来源期刊(含扩展版)、统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)、知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、CA 化学文摘(美)、JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏、等收录， 是一本工业类，北大期刊， 刊期为月刊， 影响因子为0.43。
杂志所获的荣誉有：中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库（CJFD）、中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊、中国科技期刊优秀期刊、北大图书馆收录期刊、等。
杂志主要发文方向有：综述评述、研究快报、研究论文、等。
杂志主要发文主题有哪些？
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 溅射 | 429 | 巴德纯；庄大明；张弓；王德苗；李德军 |
| 磁控 | 381 | 庄大明；张弓；巴德纯；王德苗；李德军 |
| 磁控溅射 | 363 | 庄大明；张弓；巴德纯；王德苗；李德军 |
| 真空 | 248 | 戴永年；杨斌；刘大春；徐宝强；陈秀敏 |
| 等离子体 | 223 | 陈强；辛煜；王世庆；方志；田修波 |
| 纳米 | 194 | 郭太良；杨尊先；李长生；唐华；李德军 |
| 合金 | 181 | 杨斌；戴永年；刘大春；董闯；李廷举 |
| 光学 | 128 | 韩高荣；熊玉卿；巴德纯；王多书；董茂进 |
| 性能研究 | 103 | 郭太良；李长生；王君；唐华；黄楠 |
| 值模拟 | 101 | 王晓冬；何丽娟；李得天；田宝云；杜亚威 |
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