真空科学与技术学报杂志论文投稿要求：
Ⅰ、您的稿件除正文外还应包含如下内容：邮编、详细通联地址、联系电话、电子邮箱、作者简介。
Ⅱ、基金项目：项目名称、项目号。
Ⅲ、以最恰当、简明的词句反映论文、报告中的最重要的特定内容，题名应避免使用不常见的缩略语、首字母缩写词、字符、代号和公式等。一般字数不超过25字。
Ⅳ、参考文献按在正文中出现的先后次序列于文后，其著录格式依据GB/T7714—2015《信息与文献参考文献著录规范》执行。
Ⅴ、论著应附中、英文摘要。中文摘要不超过400字，英文摘要与中文摘要相对应。摘要采用第三人称撰写，必须包括目的、方法、结果和结论四部分。
杂志发文主题分析如下：
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 溅射 | 429 | 巴德纯；庄大明；张弓；王德苗；李德军 |
| 磁控 | 381 | 庄大明；张弓；巴德纯；王德苗；李德军 |
| 磁控溅射 | 363 | 庄大明；张弓；巴德纯；王德苗；李德军 |
| 真空 | 248 | 戴永年；杨斌；刘大春；徐宝强；陈秀敏 |
| 等离子体 | 223 | 陈强；辛煜；王世庆；方志；田修波 |
| 纳米 | 194 | 郭太良；杨尊先；李长生；唐华；李德军 |
| 合金 | 181 | 杨斌；戴永年；刘大春；董闯；李廷举 |
| 光学 | 128 | 韩高荣；熊玉卿；巴德纯；王多书；董茂进 |
| 性能研究 | 103 | 郭太良；李长生；王君；唐华；黄楠 |
| 值模拟 | 101 | 王晓冬；何丽娟；李得天；田宝云；杜亚威 |
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