微细加工技术杂志社地址:长沙市第96号信箱301分箱(长沙黑石铺)。
杂志社邮编:410111。
微细加工技术杂志于1983年创刊, 国际刊号:1003-8213, 国内刊号:43-1140/TN, 现如今被知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、EI 工程索引(美)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏、等收录, 是一本电子类,统计源期刊, 刊期为双月刊, 影响因子为0.19。
杂志所获的荣誉有:Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊、等。
杂志主要发文方向有:综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术、等。
杂志主要发文主题有哪些?
主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
光刻 | 151 | 姚汉民;冯伯儒;胡松;叶甜春;张锦 |
离子注入 | 105 | 张通和;杨建华;吴瑜光;颜亨迪;关安民 |
电子束曝光 | 79 | 张玉林;顾文琪;薛虹;张福安;王绍钧 |
刻蚀 | 76 | 蔡炳初;徐向东;丁桂甫;杨春生;赵小林 |
半导体 | 72 | 郭华聪;周兆英;覃志国;张鹏飞;陈迪平 |
电路 | 70 | 陈旭南;王绍钧;姚汉民;冯伯儒;郭华聪 |
微细 | 65 | 王振龙;赵万生;伊福廷;俞学东;赵小林 |
集成电路 | 64 | 陈旭南;王绍钧;姚汉民;冯伯儒;郭华聪 |
微细加工 | 59 | 伊福廷;俞学东;赵小林;王学超;毕建华 |
曝光机 | 57 | 张玉林;薛虹;张福安;陈振生;顾文琪 |