微细加工技术杂志论文投稿要求：
Ⅰ、作者姓名的汉语拼音应姓前名后，姓氏全部字母为大写，名字的首字母大写，双名中间不加连字符不间隔；汉语拼音的作者姓名写在英文表示的工作单位之前；多位作者的署名之间以逗号隔开；不同单位的作者姓名右上角加注序号。
Ⅱ、来稿摘要应包含正文的目的、主旨、结论。
Ⅲ、编辑部实行稿件三审制，周期三个月。三个月后未接到本刊采用通知，稿件即可自行处理。请自留底稿，因人力与经费有限，来稿一律不退。
Ⅳ、文稿中的小标题请依次使用：一、二、三、……；（一）（二）（三）……；1.2.3.……；（1）（2）（3）……；①②③……。
Ⅴ、参考文献应依照引用的先后顺序标出，根据文献类型与文献载体代码（GB 3469）规定，以单字母方式标识以下各种参考文献类型。
杂志发文主题分析如下：
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 光刻 | 151 | 姚汉民；冯伯儒；胡松；叶甜春；张锦 |
| 离子注入 | 105 | 张通和；杨建华；吴瑜光；颜亨迪；关安民 |
| 电子束曝光 | 79 | 张玉林；顾文琪；薛虹；张福安；王绍钧 |
| 刻蚀 | 76 | 蔡炳初；徐向东；丁桂甫；杨春生；赵小林 |
| 半导体 | 72 | 郭华聪；周兆英；覃志国；张鹏飞；陈迪平 |
| 电路 | 70 | 陈旭南；王绍钧；姚汉民；冯伯儒；郭华聪 |
| 微细 | 65 | 王振龙；赵万生；伊福廷；俞学东；赵小林 |
| 集成电路 | 64 | 陈旭南；王绍钧；姚汉民；冯伯儒；郭华聪 |
| 微细加工 | 59 | 伊福廷；俞学东；赵小林；王学超；毕建华 |
| 曝光机 | 57 | 张玉林；薛虹；张福安；陈振生；顾文琪 |
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