微细加工技术杂志是统计源期刊。
微细加工技术杂志基本信息
《微细加工技术》于1983年创办，全刊信息多却有条有理，坚持打造交流思想和经验共享的主流平台，国内刊号为：43-1140/TN，创刊多年来受到许多读者的支持和喜爱。
杂志主要发文机构有哪些？发文量分别是多少？
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 192 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；掩模 |
| 上海交通大学 | 129 | 微机电系统；电系统；机电系统；MEMS；刻蚀 |
| 清华大学 | 60 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚焦离子束 |
| 中国科学技术大学 | 47 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；衍射 |
| 电子工业部 | 46 | 离子注入；注入机；离子注入机；半导体；电路 |
| 中国科学院微电子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝光；分辨率 |
| 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 34 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子束光刻；电子束曝光机 |
| 山东工业大学 | 28 | 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；电子束；电路 |
| 华中理工大学 | 26 | 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离子束 |
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 光刻 | 151 | 姚汉民；冯伯儒；胡松；叶甜春；张锦 |
| 离子注入 | 105 | 张通和；杨建华；吴瑜光；颜亨迪；关安民 |
| 电子束曝光 | 79 | 张玉林；顾文琪；薛虹；张福安；王绍钧 |
| 刻蚀 | 76 | 蔡炳初；徐向东；丁桂甫；杨春生；赵小林 |
| 半导体 | 72 | 郭华聪；周兆英；覃志国；张鹏飞；陈迪平 |
| 电路 | 70 | 陈旭南；王绍钧；姚汉民；冯伯儒；郭华聪 |
| 微细 | 65 | 王振龙；赵万生；伊福廷；俞学东；赵小林 |
| 集成电路 | 64 | 陈旭南；王绍钧；姚汉民；冯伯儒；郭华聪 |
| 微细加工 | 59 | 伊福廷；俞学东；赵小林；王学超；毕建华 |
| 曝光机 | 57 | 张玉林；薛虹；张福安；陈振生；顾文琪 |
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