《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》不是开放获取期刊。
开放获取（open access）是指文献在互联网公共领域中能够被用户免费获取。用户可以自由地阅读、下载、拷贝、传递、打印、检索文献，还可以通过超级链接操作，并将其用于建立索引、作为软件输入数据或其他合法用途。在使用文献时，用户不会受到财力、法律或技术方面的限制。借助新的数字技术和网络化通信手段，能够及时、免费且不受任何限制地通过网络获取各类文献，进而用于科研教育以及其他相关活动。这种方式有助于推动科学信息的广泛传播，促进学术信息的交流，提高科学研究的共享程度。
根据最新信息，该期刊由AVS Science and Technology Society出版， 不是一本开放获取（Non-Open Access）的学术期刊。
该杂志数据统计：
中科院分区（当前数据版本：2023年12月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2022年12月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2021年12月旧的升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2021年12月基础版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2021年12月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2020年12月旧的升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
名词释义：中科院分区是中国科学院国家科学图书馆制定，中科院分区目前分为基础版和升级版（试行），基础版先将JCR中所有期刊分为13大类学科，每个学科分类按照期刊的3年平均影响因子高低，分为4四个区；升级版将期刊分为18个大类学科，涵盖数学、物理与天体物理、化学、材料科学、地球科学等大类学科；升级版设计了“期刊超越指数”取代影响因子指标。期刊超越指数即本刊论文的被引频次高于相同主题、相同文献类型的其它期刊的概率。
Cite Score 排名
| CiteScore | SJR | SNIP | 学科类别 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 2.7 | 0.328 | 0.702 | 大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43% |
| 大类：Engineering 小类：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36% |
名词释义：CiteScore 是在 Scopus 中衡量期刊影响力的另一个指标，其作用是测量期刊的篇均影响力。当年CiteScore 的计算依据是期刊最近4年 （含计算年度） 的被引次数除以该期刊近四年发表的文献数，文献类型包括：文章、评论、会议论文、书籍章节和数据论文，社论勘误表、信件、说明和简短调查等非同行评议的文献类型均不包含在内。
影响因子:6.1
影响因子:6.4
