《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》杂志主要发表工程：电子与电气领域的文章。
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》ISSN：2166-2746，是一本由AVS Science and Technology Society出版商出版发行，是工程技术领域的工程技术-工程：电子与电气期刊，该刊已被国际权威数据库SCIE收录。在中科院最新升级版分区表中，该刊分区信息为大类学科：工程技术4区，小类学科：工程：电子与电气 4区；纳米科技 4区；物理：应用 4区；
该刊发文范围涵盖ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC等领域，旨在及时、准确、全面地报道国内外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在该领域取得的最新研究成果、工作进展及学术动态、技术革新等，促进学术交流，鼓励学术创新。平均审稿速度 。
| 影响因子 | h-index | Gold OA文章占比 | 研究类文章占比 | OA开放访问 | 平均审稿速度 |
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中科院JCR分区趋势图
名词释义：影响因子 简称IF，是汤森路透（Thomson Reuters）出品的期刊引证报告（Journal Citation Reports，JCR）中的一项数据。 即某期刊前两年发表的论文在该报告年份（JCR year）中被引用总次数除以该期刊在这两年内发表的论文总数。这是一个国际上通行的期刊评价指标，是衡量学术期刊影响力的一个重要指标。
影响因子:6.1
影响因子:6.4
