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查询期刊影响因子的方法有多种，以下是一些建议的途径：
1、官方网站查询：访问Web of Science的官方网站，该网站提供了全面的期刊影响因子数据。
2、通过 SCI 或 SSCI 数据库查询：SCI或SSCI数据库通常每年6月更新影响因子数据，建议查询最新年份的数据以获取准确结果。
3、通过 JCR 数据库查询：JCR是科睿唯安发布的期刊评价报告，提供权威的影响因子排名。
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》杂志基本信息
出版商：AVS Science and Technology Society
ISSN：2166-2746，ESSN：2166-2754
出版语言：English
OA开放访问：未开放
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》杂志排名与分区
中科院分区大类学科：工程技术4区，小类学科：工程：电子与电气 4区纳米科技 4区物理：应用 4区。
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》杂志文献计量指标
CiteScore数值：2.7
SJR：0.328
SNIP：0.702
Gold OA文章占比：0.00%
平均审稿速度预计：
中科院JCR分区趋势图
影响因子:6.1
影响因子:6.4
