In 1983, the two journals, Journal of Vacuum Science and Technology A and B were launched when the original Journal of Vacuum Science and Technology was split. JVSTA is devoted to publishing reports of original research, letters, and review articles on interfaces and surfaces of materials, thin films, and plasmas. JVSTA publishes reports that advance the fundamental understanding of interfaces and surfaces at a fundamental level and that use this understanding to advance the state of the art in various technological applications.
《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》是一本由AVS Science and Technology Society出版商出版的专业工程技术期刊，该刊已被国际权威数据库SCIE收录。在中科院最新升级版分区表中，该刊分区信息为大类学科：工程技术4区，小类学科：工程：电子与电气 4区；纳米科技 4区；物理：应用 4区；该刊发文范围涵盖ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC等领域，旨在及时、准确、全面地报道国内外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在该领域取得的最新研究成果、工作进展及学术动态、技术革新等，促进学术交流，鼓励学术创新。平均审稿速度 。
中科院分区（当前数据版本：2023年12月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2022年12月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2021年12月旧的升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2021年12月基础版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2021年12月升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院分区（当前数据版本：2020年12月旧的升级版）
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
名词释义：中科院分区是中国科学院国家科学图书馆制定，中科院分区目前分为基础版和升级版（试行），基础版先将JCR中所有期刊分为13大类学科，每个学科分类按照期刊的3年平均影响因子高低，分为4四个区；升级版将期刊分为18个大类学科，涵盖数学、物理与天体物理、化学、材料科学、地球科学等大类学科；升级版设计了“期刊超越指数”取代影响因子指标。期刊超越指数即本刊论文的被引频次高于相同主题、相同文献类型的其它期刊的概率。
Cite Score 排名
| CiteScore | SJR | SNIP | 学科类别 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 2.7 | 0.328 | 0.702 | 大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43% |
| 大类：Engineering 小类：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37% |
|||
| 大类：Engineering 小类：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36% |
名词释义：CiteScore 是在 Scopus 中衡量期刊影响力的另一个指标，其作用是测量期刊的篇均影响力。当年CiteScore 的计算依据是期刊最近4年 （含计算年度） 的被引次数除以该期刊近四年发表的文献数，文献类型包括：文章、评论、会议论文、书籍章节和数据论文，社论勘误表、信件、说明和简短调查等非同行评议的文献类型均不包含在内。
1、Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics期刊级别中等偏靠后，影响力一般，竞争相对来说不算太难，过审也相对较容易，建议您可以关注。研究方向为Materials Science - Materials Chemistry，建议您投递与此行业相关的稿件，以兔被拒稿耽误您的时间。建议稿件控制10页以上，4600单词字数以上（未翻译中文字数8600字数以上）；文章撰写语言为英语；（单栏格式，单倍行距，内容10号字体，文章内容包含：题目，所有作者姓名、最高学位，作者单位（精确到部门），通信作者邮箱，摘要，关键词，内容，总结，项目基金，参考文献，所有作者相片+简介）。
2、该期刊近年没有被列入国际期刊预警名单（2021年12月发布的2021版），广大学者可以放心选择。鼓励提交以前未发表的文章，禁止一稿多投；拒绝抄袭、机械性的稿件；平均审稿速度 。
3、稿件重复率控制10%以内，论文务必保证原创性、图标、公式、引文等要素齐备，已发表或引用过度的文章将不会被出版和检索。
4、稿件必须有较好的英语表达水平，有图，有表，有公式，有数据或设计，有算法（方案，模型），实验，仿真等。
5、参考文献控制25条以上，参考文献引用一半以上控制在近5年以内；图表分辨率必须达到300dpi；参考文献与文献综述能反映国际研究前沿。
6、若您想联系Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics出版商，请根据该地址联系：。
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| 影响因子 | h-index | Gold OA文章占比 | 研究类文章占比 | OA开放访问 | 平均审稿速度 |
| -- | -- | 0.00% | 0.00% | 未开放 |
中科院JCR分区趋势图
名词释义：影响因子 简称IF，是汤森路透（Thomson Reuters）出品的期刊引证报告（Journal Citation Reports，JCR）中的一项数据。 即某期刊前两年发表的论文在该报告年份（JCR year）中被引用总次数除以该期刊在这两年内发表的论文总数。这是一个国际上通行的期刊评价指标，是衡量学术期刊影响力的一个重要指标。
| 中科院同小类学科热门期刊 | 影响因子 | 中科院分区 | 浏览次数 |
| International Journal Of Hydrogen Energy | 8.1 | 2区 | 10660 |
| Journal Of Sustainable Cement-based Materials | 4.7 | 3区 | 9834 |
| Lab On A Chip | 6.1 | 2区 | 5825 |
| Case Studies In Thermal Engineering | 6.4 | 2区 | 4981 |
| Engineering Construction And Architectural Management | 3.6 | 2区 | 4166 |
| Chemical Engineering Journal | 13.3 | 1区 | 3721 |
| Aerospace | 2.1 | 3区 | 3405 |
| Cirp Journal Of Manufacturing Science And Technology | 4.6 | 2区 | 3217 |
| International Journal Of Mining Science And Technology | 11.7 | 1区 | 2991 |
| Energy Reports | 4.7 | 3区 | 2751 |
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