电子工业专用设备杂志是部级期刊。
电子工业专用设备杂志基本信息
《电子工业专用设备》于1971年创办，全刊信息多却有条有理，坚持打造交流思想和经验共享的主流平台，国内刊号为：62-1077/TN，创刊多年来受到许多读者的支持和喜爱。
《电子工业专用设备》是目前国内电子专用设备领域唯一获正规出版发行的权威专业刊物，多年来为推动我国电子专用设备的发展发挥了极其重要的作用。
杂志主要发文机构有哪些？发文量分别是多少？
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 646 | 半导体；光刻；晶圆；电机；抛光 |
| 中国电子科技集团公司第二研究所 | 229 | 真空；电池；低温共烧陶瓷；太阳能；封装 |
| 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 168 | 电池；太阳能电池；太阳能；均匀性；离子注入 |
| 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 118 | 单晶；硅单晶；硅片；晶片；区熔 |
| 电子工业部 | 115 | 半导体；光刻；曝光机；切片；切片机 |
| 北京中电科电子装备有限公司 | 92 | 晶圆；划片；划片机；键合；封装 |
| 中华人民共和国工业和信息化部 | 75 | 光刻；电路；电子专用设备；集成电路；半导体 |
| 中国电子科技集团公司 | 68 | 电路；集成电路；化学机械抛光；机械抛光；晶片 |
| 中国电子科技集团第十三研究所 | 66 | 光刻；刻蚀；激光；光刻机；投影光刻 |
| 中国科学院 | 54 | 光刻；光刻机；电路；半导体；电子束曝光 |
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 半导体 | 1260 | 翁寿松；童志义；谢中生；程开富；柳滨 |
| 电路 | 448 | 鲜飞；李庆祥；薛实福；李习周；唐德兴 |
| 封装 | 436 | 童志义；杨建生；鲜飞；王春青；贾松良 |
| 芯片 | 362 | 翁寿松；侯一雪；鲜飞；曹国斌；王仲康 |
| 集成电路 | 349 | 李庆祥；薛实福；李习周；唐德兴；鲜飞 |
| 晶圆 | 345 | 胡晓霞；翁寿松；周国安；谭立杰；高津平 |
| 光刻 | 315 | 童志义；胡松；翁寿松；李毅杰；张文雅 |
| 半导体设备 | 260 | 翁寿松；尚美杰；赵立华；张世恩；童志义 |
| 太阳能 | 171 | 贾京英；唐超凡；王娟；陈特超；颜秀文 |
| 半导体产业 | 166 | 翁寿松；杜玉春；路松杯；俞忠钰；阳春 |
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